Verdampfungsvakuumbeschichtungsmaschine und Einführung des physikalischen Prinzips- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Verdunstung Vakuumbeschichtungsmaschine und Einführung in physikalische Prinzipien

Die Verdampfungsvakuumbeschichtungsmaschine besteht hauptsächlich aus einer Vakuumkammer und einem Vakuumpumpsystem. Die Vakuumkammer enthält eine Verdampfungsquelle (dh eine Verdampfungsheizung), ein Substrat und einen Substrathalter, eine Substratheizung, eine Stromversorgung, ein Verdampfungsschiffchen und einen Elektrodenstab. Das Vakuumsystem umfasst Grobpumpen, Zwischenpumpen, Feinpumpen usw., einschließlich mechanischer Pumpe, Wälzkolbenpumpe, Diffusionspumpe oder Molekularpumpe.

Das Beschichtungsmaterial wird in die Verdampfungsquelle in der Vakuumkammer eingebracht. Unter Hochvakuumbedingungen wird die Verdampfungsquelle erhitzt, um sie zu verdampfen. Wenn die mittlere freie Weglänge der Dampfmoleküle größer ist als die lineare Größe der Vakuumkammer, verdampfen die Atome und Moleküle des Filmdampfs aus der Verdampfungsquelle. Nachdem die Quellenoberfläche entweicht, wird sie selten von anderen Molekülen oder Atomen kollidiert und behindert und kann direkt die Oberfläche des zu plattierenden Substrats erreichen. Aufgrund der niedrigen Temperatur des Substrats kondensieren die Dampfpartikel des Folienmaterials darauf und bilden einen Film.

Um die Haftung zwischen den verdampften Molekülen und dem Substrat zu verbessern, kann das Substrat durch entsprechende Erwärmung oder Ionenreinigung aktiviert werden. Der physikalische Prozess der Vakuumverdampfungsbeschichtung von der Materialverdampfung, dem Transport bis zur Abscheidung und Filmbildung ist wie folgt:

(1) Verwenden Sie verschiedene Methoden, um andere Energieformen in Wärmeenergie umzuwandeln, das Filmmaterial zu erhitzen, um es zu verdampfen oder zu sublimieren, und werden Sie zu gasförmigen Teilchen (Atome, Moleküle oder Atomgruppen) mit einer bestimmten Energie (0,1 ~ 0,3 eV):

(2) die gasförmigen Teilchen verlassen die Oberfläche des Membranmaterials und werden in einer geraden Linie mit einer beträchtlichen Bewegungsgeschwindigkeit ohne Kollision zur Oberfläche des Substrats transportiert;

(3) die gasförmigen Teilchen, die die Oberfläche des Substrats erreichen, kondensieren und bilden Keime und wachsen zu einem festen Film;

(4) Die den Dünnfilm bildenden Atome werden neu angeordnet oder chemisch gebunden.

Die tägliche Vakuumbeschichtungsmaschine verwendet die Verdampfungstechnologie, um Aluminium, Magnesiumfluorid, Gold, Silber usw. zu beschichten, da sie den Vorteil eines niedrigen Schmelzpunkts haben, der für eine schnelle Verdampfung und Sublimation geeignet ist.