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Prinzip der mechanischen Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine
Die mechanische Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine wird auch als Vorpumpe bezeichnet. Die mechanische Pumpe ist die am weitesten verbreitete Niedervakuumpumpe. Sie hält mit Öl die Dichtwirkung aufrecht und verändert durch mechanische Verfahren kontinuierlich das Volumen des Saugraums in der Pumpe. Das Volumen des Gases im gepumpten Behälter dehnt sich kontinuierlich aus, um ein Vakuum zu erhalten. Es gibt viele Arten von mechanischen Pumpen, und die üblicherweise verwendeten vier Typen sind Schieberventiltyp, Kolbenhubtyp, feststehender Flügeltyp und Drehflügeltyp.
Die Zusammensetzung der mechanischen Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine. Die mechanische Pumpe wird oft verwendet, um trockene Luft zu entfernen, aber sie kann das Gas mit hohem Sauerstoffgehalt, explosives und korrosives Gas nicht entfernen, und die mechanische Pumpe wird im Allgemeinen verwendet, um das permanente Gas zu entfernen. , aber es hat keine gute Wirkung auf Wasserdampf, so dass es keinen Wasserdampf entfernen kann. Die Hauptteile der Drehschieberpumpe sind Stator, Rotor, Schrapnell usw. Der Rotor befindet sich im Stator, hat aber einen anderen Dorn als der Stator, wie zwei eingeschriebene Kreise. Es wird sichergestellt, dass der Schrapnell fest an der Innenwand des Stators befestigt ist.
Die beiden Splitter der mechanischen Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine spielen abwechselnd zwei Rollen. Zum einen wird das Gas aus dem Lufteinlass angesaugt, zum anderen wird das angesaugte Gas komprimiert und das Gas aus der Pumpe abgeführt. Die Pumpe vervollständigt zwei Ansaugungen und zwei Abgaben für jede Umdrehung des Rotors. Wenn sich die Pumpe kontinuierlich im Uhrzeigersinn dreht, saugt die Drehschieberpumpe kontinuierlich Gas durch den Lufteinlass an und gibt es kontinuierlich aus der Auslassöffnung ab, um den Zweck des Pumpens des Behälters zu erreichen. Um den Endvakuumgrad der Pumpe zu verbessern, wird der Stator der Pumpe in das Öl eingetaucht, so dass immer genug Öl in den Lücken und schädlichen Zwischenräumen bleibt, um die Lücken zu füllen, sodass das Öl eine Schmierrolle spielt weiter einerseits und andererseits. Einerseits spielt es die Rolle, Lücken und schädliche Zwischenräume abzudichten und zu blockieren, indem es verhindert, dass Gasmoleküle mit niedrigem Druck durch verschiedene Kanäle in den Zwischenraum zurückströmen.
Die mechanische Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine beginnt aus der Atmosphäre zu arbeiten. Ihre Hauptparameter sind das Endvakuum und die Pumprate, die die wichtige Grundlage für die Auslegung und Auswahl der mechanischen Pumpe sind. Die einstufige Pumpe kann den Behälter aus der Atmosphäre auf das Endvakuum von 1,0*10-1PA pumpen, und die zweistufige mechanische Pumpe kann den Behälter aus der Atmosphäre auf 6,7*10-2PA oder sogar noch höher pumpen.
Als Förderleistung bezeichnet man das pro Zeiteinheit förderbare Gasvolumen bei Nenndrehzahl der Drehschieberpumpe, das sich nach folgender Formel berechnen lässt:
Sth=2nVs=2nfsL
fs stellt die Querschnittsfläche des Hohlraums am Ende des Einatmens dar, L stellt die Länge des Hohlraums dar, der Koeffizient stellt dar, dass der Rotor zwei Ausstoßvorgänge pro Umdrehung hat, und Vs stellt dar, dass sich der Rotor in einer horizontalen Position befindet Position, die Inhalation endet und das Volumen in der Kavität ist zu diesem Zeitpunkt am größten. , die Geschwindigkeit ist n.
Die Absaugwirkung der mechanischen Pumpe der Vakuumbeschichtungsmaschine hängt auch mit der Drehzahl des Motors und der Straffheit des Bandes zusammen. Wenn der Riemen des Motors relativ locker ist und die Drehzahl des Motors sehr langsam ist, verschlechtert sich auch die Abgaswirkung der mechanischen Pumpe, sodass häufig Wartung, Inspektion und die Dichtwirkung des mechanischen Pumpenöls erforderlich sind häufig zu kontrollieren. Wenn das Öl zu wenig ist, wird die Dichtwirkung nicht erreicht und die Pumpe verliert Luft. Im Allgemeinen liegt der Ölstand 0,5 cm unter der Linie.