Gegenwärtig verwenden die meisten mechanisch funktionellen Hartfilme (insbesondere die für Schneidwerkzeuge verwendeten Filme) auf der Welt die kathodische Lichtbogenabscheidungstechnologie. Anwendungsleistung; insbesondere das Teilchenproblem der im Inland hergestellten kathodischen Lichtbogenabscheidungsausrüstung ist besonders ernst. Die Einführung der Magnetfiltrationstechnologie auf der Grundlage dieser Technologie kann das Problem der auf der Oberfläche abgelagerten Partikel lösen, aber die Abscheidungseffizienz beträgt nur etwa 1/10 des Originals und die Abscheidungsfläche ist klein, so dass der Produktionszyklus ist lang, die Herstellungskosten sind hoch und es ist nicht für eine Massenbeschichtung geeignet. Produktionsanwendungen. Die Oberfläche des durch die Magnetron-Sputtertechnologie hergestellten Films ist glatt und empfindlich, die Abscheidungsrate ist moderat und der Film kann auf einer großen Fläche gleichmäßig abgeschieden werden. Die Magnetron-Sputter-Technologie hat jedoch auch eine niedrige Ionisationsrate (im Allgemeinen 10 %), und der hergestellte Film ist nicht so gut wie der Film, der durch die kathodische Lichtbogentechnologie hergestellt wurde, was Härte, Verschleißfestigkeit und Bindungskraft betrifft; chemisch reaktive Beschichtung durchgeführt wird. (wie TiN, TiO2) muss aufgrund der niedrigen Ionisationsrate und der schlechten Reaktivität von Metallpartikeln ein Überschuss an reaktivem Gas eingeführt werden, was eine Vergiftung (chemische Reaktion) der Magnetron-Targetoberfläche verursacht und eine Reihe von Lawinen wie einen scharfen verursacht Reduzierung der Verdunstungsrate. Als Ergebnis ist die reaktive Magnetron-Sputter-Beschichtung instabil und unkontrollierbar.

Daher gibt es multifunktionale Ionen-Vakuumbeschichtungsmaschinen auf dem Markt. Durch eine große Anzahl von Experimenten und industriellen Anwendungen ist das Projekt zu folgenden Schlussfolgerungen gelangt:

(1) Die entworfene multifunktionale Ionenbeschichtungsmaschine mit mehreren Beschichtungstechnologien ist erfolgreich, und die umfassende Leistung des etablierten Beschichtungssystems nimmt in China eine führende Position ein.

(2) Die Ausrüstung kann einen diamantähnlichen Film und einen Mehrschichtfilm aus einer Metallstickstoff- (oder Kohlenstoff-) Verbindung mit einer glatten und dichten Oberfläche, einer glatten und empfindlichen Oberfläche und einer hervorragenden Leistung auf großen Flächen und niedrigen Kosten herstellen.

(3) Die Verwendung einer speziellen Mehrschicht-Gradienten-Zwischenübergangsschicht und einer Dotierungstechnologie verringert die innere Spannung, verbessert die Film/Substrat-Bindungskraft und fördert das Wachstum der Filmschicht (bis zu 6 mm dick).

(4) Der vorbereitete DLC-Film hat hervorragende umfassende Eigenschaften: Härte > 20 GPa (bis zu 37,25 GPa), einstellbare Dicke (bis zu 6 mm dick), Film/Basis-Bindungskraft > 50 N (bis zu 100 N), Reibungskoeffizient < 0,2 Film ist glatt und zart.

(5) Die entwickelte Matrix/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC mehrschichtige verschleißfeste und hitzebeständige selbstschmierende Beschichtung hat gute umfassende Eigenschaften: Die Härte beträgt bis zu 28,7 GPa, die Dicke ist einstellbar von 1-4 mm, und der Film Die / Basis-Bindungskraft ist größer als 70 N und der Reibungskoeffizient ist kleiner als 0,2.

(6) Der entwickelte verschleißfeste und reibungsarme Film wurde erfolgreich auf eine Vielzahl von Hochpräzisionsformen und Präzisionsschlüsselkomponenten aufgebracht. Die Anwendungsergebnisse zeigen, dass die oberflächenverstärkende Wirkung der Folienschicht bemerkenswert ist, was die Produktqualität und Lebensdauer erheblich verbessern kann.

Edelstahl-Metalltribologische Beschichtungsmaschine

Das Multi-Arc-Ionenplattieren führt verschiedene Gasentladungsmodi in das Gebiet der Dampfabscheidung unter Vakuum ein. Der gesamte Aufdampfprozess wird im Plasmaverfahren durchgeführt. Es kann nicht nur auf die Oberfläche von Metallprodukten aufgetragen werden, sondern auch auf die Oberfläche von Nichtmetallprodukten. Es kann mit Metallfilm, Titannitrid, Titancarbid, Zirkoniumnitrid, Chromnitrid, Titanoxid und anderen Filmen plattiert werden.