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Vakuumbeschichtungsmaschinen können nach Branchen eingeteilt werden
Vakuumbeschichtungsmaschinen können nach Branchen klassifiziert werden, wie z. B. Vakuumbeschichtungsmaschinen für Linsen, Beschichtungsmaschinen für elektronische Produkte, Filterbeschichtungsmaschinen usw. Alle gehören zu optischen Beschichtungsmaschinen, z. B. Verpackungsvakuumbeschichtungsmaschinen, fälschungssichere Vakuumbeschichtungsmaschinen, Kondensatorwickelvakuum Beschichtungsmaschinen usw. gehören zur Wickelbeschichtungsmaschine. Wie Mehrbogen-Ionen-Vakuumbeschichtungsmaschine, Hardware-Dekorations-Vakuumbeschichtungsmaschine, Hochvakuum-Verdampfungsbeschichtungsmaschine, Keramikfliesen-Vakuumbeschichtungsmaschine, die zur dekorativen Ionenbeschichtungsmaschine gehört. Viele Menschen werden aber auch nach der Funktion des Vakuumofens eingeteilt
Vakuumbeschichtungsmaschine
Nach dem Prinzip der Dünnschicht kann es in Sputterbeschichtung, Ionenbeschichtung, Verdampfungsbeschichtung und chemische Dampfabscheidungsbeschichtung unterteilt werden. Je nach Anwendungszweck kann es in optische Beschichtung, Wicklungsbeschichtung, Dekorationsbeschichtung, Solarkollektorrohrbeschichtung, Werkzeugbeschichtung, Baubeschichtung, leitfähige Beschichtung usw. unterteilt werden.
Vakuum-Aufdampfbeschichtungsmaschine
Die Aufdampfbeschichtungsanlage ist die erste erfolgreich entwickelte Beschichtungsanlage unter allen Beschichtungsanlagen in China. Es wurde in den 1950er Jahren in China erfolgreich entwickelt. Es gibt viele Arten von Verdampfungsbeschichtungsgeräten, einschließlich optischer Beschichtungsgeräte zum Beschichten optischer Filme, die hauptsächlich für optische Geräte, Lasergeräte und mikroelektronische Geräte usw. verwendet werden, sowie Wickelbeschichtungsgeräte, die nach dem Prinzip der Verdampfungsbeschichtung hergestellt werden und in der Dekoration verwendet werden , Verpackung elektronischer Geräte und andere Branchen.
Sputter Coater
Das Ionentarget wird ausgesputtert und auf dem Substrat abgeschieden, um einen dünnen Film zu bilden. Die Sputter-Beschichtungsanlage kann verschiedene Dünnfilme wie leitfähige ITO-Filme, dielektrische Filme, Halbleiterfilme, Metallfilme, Magnetfilme, Hochtemperatur-Supraleiterfilme, Einkristallfilme, Dekorationsfilme usw., Disk-Filmplattierung beschichten. Glasfolien für Vorhangfassaden, die in der Bauindustrie verwendet werden, Kondensatorfolien in der Elektronikindustrie, feste glatte Folien in Luft- und Raumfahrtfahrzeugen, Solarzellen in Strom und Gas, Verpackung, Infrarottechnologie und vielen anderen Branchen.
Ionenbeschichter
Ionenplattierungsgeräte können in Lichtbogenionenplattierung, Hochfrequenzentladungs-Ionenplattierung, Hohlkathoden-Ionenplattierung usw. unterteilt werden. Die Ionenplattierung zeichnet sich durch ihre schnelle Abscheidungsrate, dichte Beschichtungsqualität und gute Filmhaftung aufgrund ihres Beschichtungsprinzips aus. Es wird häufig in Werkzeugen, Formen und anderen Industrien verwendet und kann mit Metallfilm, Hartfilm, Imitationsgoldfilm und so weiter plattiert werden.
Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung
Chemische Dampfabscheidungsausrüstung ist ein chemisches Reaktionsverfahren zur Herstellung von Filmen, die zum Beschichten von Oberflächenschutzfilmen und Halbleiter- und Elektronikmaterialien verwendet werden können.
Ausrüstung zum Ionenstrahlätzen
Als ultrafeine Verarbeitungstechnologie in der Halbleiterindustrie ist das Ätzen mit der zunehmenden Integration großintegrierter Schaltungen zu einem unverzichtbaren und wichtigen Gerät geworden. Verglichen mit anderen chemischen Korrosions-, Plasmazerstäubungs- und anderen Technologien hat die Ionenstrahlätztechnologie keine Selektivität für die Verarbeitung von Materialien, kann eine ultrafeine Verarbeitung durchführen und sehr feine Rillen ätzen. Die Kante des geätzten Musters ist klar und die Genauigkeit ist hoch. . Ionenstrahlätzgeräte können in vertikale und horizontale Typen unterteilt werden. Das Vakuumsystem von Haushaltsgeräten basiert hauptsächlich auf einer Öldispersionspumpe und einem wassergekühlten Leitblech, und im Ausland wird häufig ein kryogenes Pumpsystem verwendet.
Vakuumofen
Die Entwicklung von Vakuumöfen in China begann Ende der 1950er Jahre. Der erste 10-kg-Vakuum-Induktionsofen wurde 1958 in Shenyang entwickelt und 1960 bewertet. Derzeit werden in China viele Arten von Vakuumöfen hergestellt, die grob in metallurgische Öfen und Wärmebehandlungsöfen unterteilt werden können. Unter ihnen umfassen metallurgische Öfen: Vakuum-Widerstandsöfen, Vakuum-Sinteröfen, Vakuum-Lichtbogenöfen, Vakuum-Induktionsöfen, Einkristallöfen und Vakuumlötanlagen usw.; Der Vakuum-Wärmebehandlungsofen umfasst: Vakuum-Abschreckofen, Anlassofen, Glühofen, Aufkohlungsofen, Glühionen-Nitrierofen usw.
Vakuum-Widerstandsofen
Vakuum-Widerstandsöfen nutzen den Widerstand, um Werkstücke oder Materialien unter Vakuumbedingungen zu erhitzen. Wird hauptsächlich zum Glühen und Vakuumentgasen von lebenden, unlöslichen Metallen oder einigen magnetischen Legierungen verwendet. Es gibt viele Arten von Widerstandsöfen, die nach verschiedenen Methoden in vertikale, horizontale, interne Erwärmung, externe Erwärmung usw. unterteilt werden können.
Vakuum-Sinterofen
Der Vakuumsinterofen wird hauptsächlich zum Sintern von Hartmetall, keramischen Materialien, magnetischen Materialien, seltenen feuerfesten Materialien, Metallpulverprodukten, optoelektronischen Komponenten und anderen Materialien verwendet. Die Angaben zur Sinterbehandlung sind unterschiedlich. Die Varianten der Vakuum-Sinteröfen umfassen Hochtemperatur-Sinteröfen bis 2 000 ℃ und Hochvakuum-Sinteröfen mit höherem Vakuumgrad.
Vakuum-Lichtbogenofen
Der Vakuum-Lichtbogenofen nutzt den durch Lichtbogenentladung erzeugten Lichtbogen, um das Werkstück oder Material zu schmelzen. Es kann zum Fräsen von Zirkonium und unlöslichen Metallen in Verbindung mit dem Kupferverfahren verwendet werden. Die Arten von Vakuum-Elektrolichtbogenöfen können in Verbrauchsöfen, Nichtverbrauchsöfen und Kondensationsschalenöfen usw. unterteilt werden.
Vakuum-Induktionsofen
Der Vakuuminduktionsofen verwendet elektromagnetische Induktion, um den Tiegel im Ofen zu erhitzen, und schmilzt Metalle und Legierungen im Vakuumzustand. Es kann feine Legierungen, magnetische Materialien, aktive Metalle und unlösliche Metalle schmelzen.
Vakuumbeschichtungsmaschinen werden nach den Funktionen von Vakuumöfen klassifiziert, und die meisten von ihnen sind nach Industrie klassifiziert. In Bezug auf Industrieeinheiten und klassifiziert nach Vakuumöfen gibt es jedoch mehr.
Das Multi-Arc-Ionenplattieren führt verschiedene Gasentladungsmodi in das Gebiet der Dampfabscheidung unter Vakuum ein. Der gesamte Aufdampfprozess wird im Plasmaverfahren durchgeführt. Es kann nicht nur auf die Oberfläche von Metallprodukten aufgetragen werden, sondern auch auf die Oberfläche von Nichtmetallprodukten. Es kann mit Metallfilm, Titannitrid, Titancarbid, Zirkoniumnitrid, Chromnitrid, Titanoxid und anderen Filmen plattiert werden.