In unserem täglichen Leben werden viele Gegenstände des täglichen Bedarfs mit einer Schicht der Folie überzogen Beschichtungsmaschine , was die Produkte nicht nur schöner, sondern auch praktischer macht. Aber viele Leute werden eine Frage haben, da es mit einer Filmschicht beschichtet ist, muss der Film eine Dicke haben, also wie dick ist die Dicke des Films und wie wird sie gemessen?

Der Dünnfilm muss auf dem Substrat abgeschieden werden, so dass es kein Problem der Dünnfilmabscheidung ohne das Substrat gibt. Die Reinigungsqualität des Substrats hat den wichtigsten Einfluss auf die Qualität des Films. Gleichzeitig ist es bei der Herstellung der Folie erforderlich, die Dicke der Folie zu kennen. Es ist sinnlos, über die Messung der Filmeigenschaften ohne die Dicke des Films zu sprechen. Daher können die Messung der Schichtdicke und die Reinigung des Substrats als wichtige Technologien im Zusammenhang mit der Herstellung dünner Schichten bezeichnet werden. Im Allgemeinen bezieht sich die sogenannte Dicke auf den Abstand zwischen zwei vollständig ebenen parallelen Ebenen. Dieses Konzept ist ein geometrisches Konzept. Die ideale Filmdicke bezieht sich auf den Abstand zwischen der Substratoberfläche und der Filmoberfläche. Bei der dreidimensionalen Messung der Filmtopographie können die anderen zweidimensionalen Messungen relativ zur Dicke des Films als unendlich bezeichnet werden. Da die tatsächliche Oberfläche uneben und diskontinuierlich ist und Poren, Verunreinigungen, Gitterfehler und Oberflächenadsorptionsmoleküle im Film vorhanden sein können, muss die gesamte Dicke des Films streng definiert und genau gemessen werden. ist sehr schwer. Das Definitionsbit der Filmdicke sollte gemäß dem Verfahren der Adressmessung und dem Zweck der Adressmessung bestimmt werden. Daher wird derselbe Film bei Verwendung unterschiedlicher Messmethoden unterschiedliche Ergebnisse, dh unterschiedliche Dicken, erhalten.

Die Messung der Oberfläche in Dünnfilmöl ist kein geometrisches Konzept, sondern ein vergrabenes Konzept, das sich auf die Ansammlung von Oberflächenmolekülen (Atomen) bezieht. Die durchschnittliche Oberfläche bedeutet, dass die algebraische Summe der Abstände aller Punkte der Oberflächenatome zu dieser Oberfläche gleich Null ist, und die durchschnittliche Oberfläche ist eine Art Begriff.

Wir beziehen uns gewöhnlich auf die durchschnittliche Oberfläche der Ansammlung von Oberflächenmolekülen auf einer Seite des Substrats als Substratoberfläche; die durchschnittliche Oberfläche der Oberfläche auf der Seite des Films, die nicht in Kontakt mit dem Substrat ist, wird als Formoberfläche des Films bezeichnet. Die Atome werden so umgeordnet, dass die Dichte exakt der des Schüttguts entspricht und gleichmäßig auf der Oberfläche des Substrats verteilt. Zu diesem Zeitpunkt wird die durchschnittliche Oberfläche als äquivalente Oberfläche der Filmmasse bezeichnet; Gemäß den physikalischen Eigenschaften des gemessenen Films entspricht dies einer Länge eines dünnen Films aus einem massiven Feststoffmaterial mit der gleichen Breite wie der gemessene dünne Film. Die durchschnittliche Oberfläche zu diesem Zeitpunkt wird als äquivalente Oberfläche der physikalischen Eigenschaften des Films bezeichnet. Die Formfilmdicke ist die Filmdicke, die der intuitiven Form am nächsten kommt, normalerweise in µm; Die Massenfilmdicke spiegelt die Menge der im Film enthaltenen Substanzen wider, normalerweise in µg/cm², und die physikalische Filmdicke ist praktischer in der praktischen Anwendung. Nützlich und relativ einfach zu messen.

Da die tatsächliche Oberfläche nicht eben ist und gleichzeitig im Filmherstellungsprozess zwangsläufig verschiedene Defekte, Verunreinigungen und adsorbierte Moleküle vorhanden sind, handelt es sich unabhängig davon, mit welcher Methode die Filmdicke definiert und gemessen wird, um einen Durchschnittswert und Die Dicke des Films ist ausreichend, um Verunreinigungen, Defekte und adsorbierte Moleküle einzuschließen.

Die Beschichtung der Vakuumbeschichtungsmaschine erfolgt unter der Vakuumkammer. Für die Dickenmessung der Folie ist ein professionelles Messgerät in diesem Bereich erforderlich, um die Dicke zu messen. Die Hersteller von Vakuumbeschichtungsmaschinen haben im Normalfall dieses A-Gerät im Angebot.