MODELL | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 |
KAMMERGRÖSSE | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm |
KAMMERSTRUKTUR | Vertikale Einzeltür | ||
BESCHICHTUNGSVERFAHREN | Ion mit Bias-Technologie und Sputtern | ||
ULTIMATIVES VAKUUM | 8,0*10-4Pa (leere Ladung) | ||
VAKUUMZEIT | Leerladung von Atmosphäre auf 5.0E-2 weniger als 15 min | ||
VERBRAUCHSMATERIAL | Titan-, Chrom-, Zirkonium-, Eisen-, Titan- und Aluminiumlegierungen, alle Arten von MF- und DC-Sputtertargets. | ||
BESCHICHTUNGSFARBE | durchscheinend, gold, silber, roségold, schwarz, dunkelschwarz, grün, blau, lila, regenbogen, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3, etc | ||
KONTROLL-METHODE | Vollautomatisch, halbautomatisch, manuell, SPS-Touchscreen | ||
SPEZIELLE ANFORDERUNGEN | Angepasst |