MATERIAL | DEPOSITIONSTECHNOLOGIE | DICHTE g/cm3 | Sp3% | HÄRTE GPa | REIBUNGSKOEFFIZIENT |
DIAMANT | NATÜRLICH | 3.52 | 100 | 100 | 0,02 ~ 0,10 |
ein-C | SPUTTERN | 1,9 ~ 2,4 | 25 | 11~24 | 0,10 ~ 0,15 |
a-C:H:M | REAKTIVES SPUTTERN | 1,9 ~ 2,4 |
| 10~20 | 0,10 ~ 0,20 |
a-C:H | HF-SPUTTERN | 1,57 ~ 1,70 |
| 16~40 | 0,02 ~ 0,47 |
a-C,a-C:H | IONENSTRAHL | 1,8 ~ 3,5 |
| 32~75 | 0,06 ~ 0,19 |
ta-C | MAGNETFILTER | 2,8 ~ 3,0 | 85~95 | 40~80 | 0,04 ~ 0,14 |
Ta-C | PLD | 2.4 | 85~95 | 40~80 | 0,03 ~ 0,15 |
NAMI DIAMANT | PLD | 2,9 ~ 3,5 | 75 | 80~100 |
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